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000
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01064nam 2200277 450
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001
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74
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005
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20050310142642.93
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010
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@a7-5639-1300-9@dCNY50.00
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@a20041120d2004 km y0chiy0120 ea
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@achi
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@aCN@b110000
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@aa a 000yy
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@ar
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1
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@a电子束曝光微纳加工技术@Adian zi shu bao guang wei na jia gong ji shu@f顾文琪主编@Fgu wen qi zhu bian@g王理明 … [等] 著@Gwang li ming…[deng]zhu
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210
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@a北京@c北京工业大学出版社@d2004
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@a310页@c图@d26cm
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2
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@a电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
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@a有书目。
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@a本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标,电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。
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0
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@12001 @a电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
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@a电子束@x曝光
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@aTN3@v4
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0
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@a顾文琪,@Agu wen qi,@f1941-@4主编
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0
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@a王理明@Awang li ming@4著
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0
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@aCN@bRULIN@c20050310
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905
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@dTN3@e7
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| 电子束曝光微纳加工技术/顾文琪主编/王理明 … [等] 著.-北京：北京工业大学出版社，2004 |
| 310页：图；26cm.-(电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著) |
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| ISBN 7-5639-1300-9：CNY50.00 |
| 本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标,电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。 |
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正题名：电子束曝光微纳加工技术
索取号：TN3/7
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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364745
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300364745
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流通五库四楼/
[索取号:TN3/7]
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在馆
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2
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流通五库四楼/
[索取号:TN3/7]
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在馆
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流通五库四楼/
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流通五库四楼/
[索取号:TN3/7]
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[索取号:TN3/7]
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流通五库四楼/
[索取号:TN3/7]
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在馆
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300364751
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流通五库四楼/
[索取号:TN3/7]
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在馆
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